邯郸承担国家重大科技专项高纯电子气体研发

　　长城网邯郸4月15日电(林振轩)15日，记者从市科技局获悉，由七一八研究所牵头，联合相关单位承担的“高纯电子气体研发及产业化”项目，正式立项列入国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项(02专项)，获中央财政经费支持10008万元。这是邯郸市首次承担国家重大科技专项，也是河北省第二家承担国家重大科技专项的单位。

　　据了解，国家重大科技专项是《国家中长期科学与技术发展规划纲要(2006—2020年)》的重要内容，是为了实现国家目标，通过核心技术突破和资源集成，在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。作为02专项“高纯电子气体研发及产业化”分项的牵头和主要承担单位，中船重工第七一八研究所将组织江苏南大光电、大连光明化工、洛阳黎明化工、佛山华特气体和大连科利德等单位，共同研究开发集成电路制造工艺用特种气体制备关键共性技术，开发IC制造过程离子注入、扩散、刻蚀等关键工艺用电子气体和源产品，形成批量生产，构建支撑我国特种电子气体技术发展的人才团队和研发平台，为我国极大规模集成电路制造领域持续发展奠定基础。其中七一八研究所将独自投资10702.5万元，进一步优化高纯三氟化氮、六氟化钨工艺技术，开发10种高纯电子气体，完成10种高纯混合气体配气系统研发，建成年产1000吨高纯三氟化氮生产线和150吨六氟化钨生产线。预计项目完成后年将实现产值6.5亿元。

关键词：专项,国家,气体,电子,科技